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半導体製造装置補修用ベアリング
KAYDON（ケイドン） SME/AMRシリーズ
ケイドン社が提唱する半導体製造装置向け補修用ベアリングです。特にウエハー搬送ロボットの関節部に使用されているベアリングが各種ラインナップされております。OEM品のベアリングと同等品のAMRシリーズだけでなく、OEM品の問題点を改善し、エンドユーザーの使用条件に最適な仕様のベアリングにアレンジしたSMEシリーズがあります。
対応装置メーカー及び製品
・Applied Materials
HP/HP+ Robot, VHP/VHP+ Robot, Producer, CMP
・Brooks Automation
MAG 6 & 7 Robot
・Varian Semiconductor ｅｔc.,
上記メーカー以外のベアリングも取り扱っておりますので、詳しくは直接お問合せ下さい。
HP/HP+ Robot, VHP/VHP+ Robot, Producer, CMP
・Brooks Automation
MAG 6 & 7 Robot
・Varian Semiconductor ｅｔc.,
上記メーカー以外のベアリングも取り扱っておりますので、詳しくは直接お問合せ下さい。
特徴
SMEシリーズはユーザーの装置使用条件に応じてベアリングの材質やグリースの選定し、最適な仕様のベアリングをご提案致します。"お問合せシート"をダウンロードして頂き各項目に回答の上、弊社まで返送して下さい。AMRシリーズはOEM先のベアリングと同等の性能を備えた製品で、ユーザーの部品調達コスト削減に貢献します。
当社では仕様に応じたベアリングの提案を行っております。 株式会社 木村洋行 第2事業部 TEL 03-3213-0255 FAX 03-3213-0470 受付：9時縲鰀17時／土・日・祝日を除く